静电执行相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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MEMS静电执行光开关的设计与实验

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期刊

MEMS 光开关静电执行自对准 MEMS optical switch electrostatic actuation self-align

低驱动电压RF MEMS电容式开关设计及分析

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学位

MEMS F-V类比射频开关静电执行机电等效电路模型

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