集成微压传感器相关硕士博士期刊学术论文

介绍了厚膜集成微压传感器的研制过程。此种集成微压传感器的量程为１ｋＰａ、满量程输出为２５ｍＶ、非线性小于０．２％、综合精度小于０．５％。......