隧道硅尖相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

隧道硅尖相关论文

隧道微硅尖的制作技术

讲述了隧道硅尖的大致结构，给出了制作隧道硅尖的两种不同的方法，分析了分别用湿法和干法刻蚀的硅尖及它们产生不同的效果。......

期刊

隧道硅尖湿法刻蚀干法刻蚀 Tunneling silicontipWet etchingDry etching

硅尖的制备

隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究,得到了合适......

期刊

隧道硅尖各向异性刻蚀微机械隧道传感器 ICP刻蚀

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