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光刻机隔振试验平台运动控制与振动控制研究
超精密运动平台是步进扫描式光刻机的核心部件之一。生产上对半导体光刻设备高质量和高效率的不断追求,迫使其运动平台朝着高速、高......
学位
半导体光刻机
隔振试验平台
动力学模型
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