在90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加30～60V的正偏压可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用.在此情况下,就磁过滤管道磁......

在９０°磁过滤管道和阴极之间加一３０￣６０Ｖ的正偏压可使磁过滤管道直屋阴极弧放电第二阳极的作用，在此情况下对了聚焦磁场对ＭＥＶＶＡ源阳极－阴极以及......

本论文设计建立了国内第一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积系统,并对其性能进行了考察。对弧源弧压、聚焦磁场和磁过滤管道正偏压以及......