阴极电弧源法相关论文
介绍了一种应用电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的新方法 ,研究了N2 流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对合成AlN薄膜质量的......
研究了 N2 流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成 Al N薄膜质量的影响规律及其原因。
The effects o......
研究了电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的形核生长过程，并对生长机理进行了初步的探讨。......
