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长草效应相关论文
工艺参数对Si深槽刻蚀的影响
采用Bosch技术研究了在Si深槽刻蚀中刻蚀/钝化比、刻蚀阶段钝化气体保护时间、刻蚀和钝化工艺重叠时间等工艺参数对刻蚀结果的影响......
期刊
Bosch技术
Si深槽刻蚀
刻蚀/钝化比
长草效应
刻蚀和钝化工艺重叠时间
钝化气体
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