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掺Cr和模压处理铜基镶嵌结构界面金刚石膜研究
随着电子集成技术的飞速发展,半导体器件的集成密度不断升高,单位面积上产生的热量也越来越多,如何将这些热量散发出去将成为其稳定和......
学位
镶嵌结构界面
金刚石膜
铜铬合金
磁控溅射
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