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X射线光栅是X射线光谱仪中的核心色散元件,而X射线光谱仪是等离子体诊断和太空探测方面的重要工具。X射线的波长短、穿透能力强,要求......
为得到同步辐射光源硬X射线波段(>2keV)需要的高宽比高分辨率波带片,本文利用高加速电压(100kV)电子束光刻配合Si3N4镂空薄膜直写来......