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镁硅多层膜相关论文
极紫外Mg/Si多层膜的改进和表征
本文研究通过在Mg/Si多层膜引入Mo或SiC阻隔层的界面工程法来提高多层膜的光学性能。采用磁控溅射法镀制多层膜,X射线和极紫外反射......
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镁硅多层膜
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