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铝铜合金靶材相关论文
铝铜合金靶材的微观结构对溅射沉积性能的影响
磁控溅射中高沉积速率有利于获得高纯度薄膜,节省镀膜时间;高沉积效率的靶材可制备出更多数目的晶圆。通过建立平面靶的溅射模型研......
期刊
铝铜合金靶材
微观结构
沉积速率
沉积效率
Al-Cu alloy target microstructure deposition rate deposit
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