钌靶相关论文
建立了钌粉和钌靶中氧、氮含量的测定方法。研究了样品前处理、仪器条件、助熔剂选择、方法准确度和精密度等。以锡-碳作助熔剂，在......
电子工业生产钌靶对所用的钌粉纯度(99.999％)、分散性、形貌和尺寸等有严格的要求.国内目前只能在实验室制备出高性能的钌粉,尚未应......
建立了钌粉和钌靶中氧、氮含量的测定方法。研究了样品前处理、仪器条件、助熔剂选择、方法准确度和精密度等。以锡一碳作助熔剂，在......
目前大量使用的钌靶主要用粉末冶金方法制备,所用原料为高纯钌粉。粉末质量是影响钌靶制备和使用性能的关键问题。基于文献和实验,......
