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金属-铁电-半导体集成薄膜器件相关论文
铁电体PbZr<,0.53>Ti<,0.47>O<,3>和半导体Si集成薄膜的研究
该论文在成功地制备高质量的取向生长的PZT/SiO/Si集成薄膜的基础上,针对不同的工艺条件,对集成薄膜的结构和性能进行了系统的测试......
学位
集成薄膜
电滞回线
电容特性
金属-铁电-半导体集成薄膜器件
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