金属化布线相关论文
本文进行了基于HTCC（高温共烧陶瓷）的多层有机介质薄膜制备技术的研究,针对工艺中出现的问题,分析了产生问题的原因,提出了相应的解......
结合器件具体结构和工艺，在回流效应理论和实验研究的基础上优化设计了回流加固结构。建立了一套自动测试系统，对回流加固结构样管进......
该文利用金属簿膜电阻率与温度的关系，研究了不同材料和几何尺寸的金属化布线在不同电流应力下的焦耳热温升，金属化自升温可达99℃。......
介绍了一种与传统ＭＴＦ法完全不同的测量电流密度因子ｎ的新型动态电流斜坡测试法。测试了４种不同样品。结果表明，ｎ值与材料有关，并符合ＢＬＡＣＫ方程。......
在ＡｌＮ基片上采用Ａｇ－２０％Ｐｄ浆料实现了厚膜金属化布线，膜层的附着力、表面电阻，电焊性及耐焊料的腐蚀能力都不亚于Ａｌ２Ｏ３基片上的情况。在烧结过程中，熔化......
设计了一种新型ＴｉＷ膜自加热结构，产生沿金属化条长方向的温度梯度。文中采用独立的实验和测温金属条结构，利用电阻与温度间的线性关系精......
在金属化布线电徒动试验中，采用金属薄膜电阻测温法精确测量了样品的局部温度，在环境温度为１５０℃，电流密度为３×１０＾６Ａ／ｃｍ＾２和５×１０＾６Ａ／ｃｍ６２时，金属薄膜温......
