重掺硅片相关论文
不同掺杂剂种类的重掺硅片有其特性,为了研究不同掺杂剂硅片的固有特性对化学机械抛光结果的影响,选取应用广泛的重掺硼、重掺砷、......
在重掺硅衬底片背封过程中,硅片表面颗粒的尺寸和数量将会极大的影响到沉积薄膜的质量,并影响硅片几何特征的形成.主要针对不同掺......
200 mm重掺硅片是功率半导体用主流衬底材料。APCVD(常压化学气相沉积)沉积薄膜是200 mm重掺硅片制作的核心工序之一,颗粒作为一种......
