运动学支撑相关论文
光刻是大规模集成电路制造过程中最为关键的工艺,光刻的分辨力主要取决于光刻投影物镜的光学性能。光刻投影物镜光学元件面形精度......
空间相机支撑结构对相机具有支撑定位和安装的功能,是相机整机系统中一个十分重要的机械组件,卫星平台的力学激励正是通过支撑结构......
设计了空间光学遥感器的运动学支撑方案,以解决遥感器的安装和精密定位。首先介绍了约束螺旋理论,主要包括螺旋的概念,修正的K-G公......
介绍了极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑原理和支撑要求，分析了符合运动学支撑要求的物镜支撑结构和面形检测用支撑结构；针对支撑结......
利用有限元方法对运动学支撑夹紧力引起的镜片光学表面变形进行静力学分析,并应用Zernike多项式对镜片表面的变形进行了拟合。结果......
为了实现曝光工作过程中深紫外投影光刻物镜的动态稳定性,设计了一种能够消除温度和应变影响的光学元件运动学支撑结构,研究了如何......
航天遥感多光谱成像技术是空间遥感卫星的核心技术之一，由于其应用需求的广泛性，各航天大国都投入了极大的研究力度。我国在多光谱成......
空间相机的装星组件具有支撑定位和安装的功能，是相机整机系统中一个十分重要的机械组件，卫星平台的力学激励正是通过这一结构传输到......
运动学支撑定位精度检测,采用激光散斑干涉法记录被测体特定平面的位移,以获得6自由度刚体位移分量.其图象处理技术是用细激光束对......
