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过腐蚀现象相关论文
自停止腐蚀硅膜制备技术研究
提出了一种适合MEMS器件的自停止腐蚀硅膜制备的方法.此方法利用相对简单的双电极电化学腐蚀系统和与VLSI工艺相兼容的TMAH腐蚀液,......
会议
自停止
蚀硅
过腐蚀现象
方法
低搀杂硅膜
实验验证
技术有效
硅膜制备
腐蚀系统
边缘保护
双电极
腐蚀液
电化学
制作
微米
器件
硅片
工艺
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