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真空蒸镀热反射玻璃电清洗工艺研究
分析了蒸镀反射膜时电清洗玻璃的必要性,提出了在真空室体中设置栅极并加以负高压,采用氨气产生等离子场并用其轰击清洗玻璃表面的方......
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