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角度抛光法相关论文
光学材料亚表面损伤破坏性测量方法的比较研究
HF恒定化学蚀刻速率法和角度抛光法是常用的两种亚表面损伤破坏性检测方法。本文通过对传统的两种方法进行改进,降低了外界环境和操......
会议
光学材料
亚表面损伤
破坏性
测量方法
测量结果
角度抛光法
外界环境
检测方法
化学蚀刻
对比分析
测量效率
操作误差
准确性
速率法
试件
恒定
改进
典型
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