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基于多孔硅SON(Silicon on nothing)工艺的压阻式压力传感器研究
压力传感器作为最早的MEMS传感器产品之一,问世距今已经发展了约70年。随着微机电系统产业的高速发展,压力传感器正向着智能化、小......
学位
多孔硅
压阻式压力传感器
表面硅工艺
SON
空腔
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