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表面氧化层错相关论文
中子辐照对硅片表面氧化层错的抑制作用
对硅片表面氧化层错形成机理进行了探讨。并通过中子辐照在直接硅中引入缺陷,利用辐照缺陷和硅中氧的相互作用,强烈抑制硅片表面氧化......
期刊
表面氧化层错
中子辐照
硅片
抑制
Surface Oxide Fault
Neutron Irradiation
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