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表面形貌测量系统相关论文

小波包分析在光探针式表面形貌测量系统中的应用

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会议

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大行程共基面二维工作台研制

精密工作台是表面形貌测量系统重要的功能部件，起着扫描驱动和测量基准的作用。表面形貌测量技术的不断发展对工作台的精度和范围提......

学位

二维工作台表面形貌共基面误差分析

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