表面形貌测量仪相关论文
表面形貌的测量与评定是当今纳米计量学的研究热点,各种高精密的表面形貌测量仪都需要配备一种纳米级分辨率的微位移测头系统。该测......
通过对表面形貌测量的参数设置、计算机后处理对采集数据进行重构生成的要求以及在已有PID、模糊PID方法分析的基础上,建立了基于......