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软刻蚀是一类以自组装和复制模塑为基础进行微米、纳米微加工的非光刻技术手段.它使用一个表面带有微图形的弹性印章作为印模或掩......
对现有的软刻蚀方法提出了改进，让其与压印技术及毛细力刻蚀技术相结合形成一种薄层软刻蚀技术，并以这种技术制备出PMMA薄膜微图案化......
