能量分析器相关论文
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在现代电子光学与电子束技术研究中,Boersch效应作为离散空间电荷效应的一个主要特征,越来越引起了人们的重视。本实验设计并制作了......
本文简要的评述了RF对探针测量影响的研究现状,并介绍了若干减少或消除RF影响的技术。这些技术可归纳为,时间平均技术,快速扫描技......
电子激励脱附(ESD)效应和软X射线效应是影响电离真空计测量下限的两大重要因素.基于能量分析器研制了电离真空规,在极高真空校准装......
在微波ECR设备中,利用能量分析器进行了对非晶碳氢膜刻蚀过程中离子能量的测量,对比根据在线椭偏仪所测的刻蚀率,我们得到离子能量分......
为满足低轨航天器高精度大气阻力分析及热层?电离层耦合机理研究需求,需要开展基于皮纳卫星的热层大气全球组网探测。文章对一种基......
研制出一种将物镜、电子能量分析器与二次电子收集器复合在一起的电子光学系统,该系统能用于集成电路的电子束检测,定量地测定微电......
能量分析器是空间粒子探测中被广泛使用的一种仪器。能量分析器探测粒子能量一般是利用静电场对离子的筛选来实现。通过仿真研究能......
简介中能EELS的整体结构原理,着重介绍电子光学系统的各个组成部分的功能和设计,高性能的光学系统保证了谱仪的高分辨率和高亮度。......
介绍了一种新型电子动量谱仪电子光学系统的研究与设计、系统由靶室、圆锥形减速透镜线件,双扇形场电子能量分析器组件组成,可同时获......
本文首先介绍了磁控溅射镀膜过程中等离子体的性质、主要参数、气体放电过程以及等离子体的研究现状。其次概述了磁控溅射技术的发......