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绝对式位移测量相关论文

基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析

针对传统绝对式位移传感器复杂编码和严苛光刻加工的难题,提出了一种“精机定位+精机测量”的差极结构绝对式时栅位移测量新方法.......

期刊

绝对式位移测量时栅传感器差极结构测量误差分析

基于交变电场的绝对式直线位移测量技术研究

高端制造业的迅猛发展对数控机床的加工速度和定位精度要求越来越高。在线性位移测量方面,传统增量式传感器开始不能满足对线性位......

学位

电场式位移传感器绝对式位移测量差极结构时栅误差分析

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