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VLD-JTE复合终端结构的特性及工艺研究
目前,硅基高压大功率半导体器件依旧朝着高电压、大电流、低损耗的趋势发展。而功率器件所选用的终端结构会直接影响到器件的耐压......
学位
功率半导体器件
终端结构
横向变掺杂
结终端延伸
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