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结构和电学特性相关论文
BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性
本文研究以六方BN为靶材,CH4为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱......
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BCN薄膜
射频反应溅射
结构和电学特性
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