组合沟道相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

组合沟道相关论文

宽度比对组合沟道结构牺牲层腐蚀特性的影响(英文)

对宽度比对组合沟道结构的牺牲层腐蚀特性的影响进行了研究.从理论和实验两个方面,对不同宽度比的腐蚀特性进行了比较.结果表明,宽......

期刊

沟道腐蚀特性组合沟道组合结构组合宽度比 etching 腐蚀速率腐蚀过程前端

微/纳结构牺牲层腐蚀及其模型研究

牺牲层腐蚀技术是先在硅衬底上生长一层牺牲层,然后再淀积一层结构层,腐蚀掉牺牲层后,得到自由悬空结构单元的一种技术。它是MEMS......

学位

牺牲层腐蚀腐蚀速率扩散系数组合沟道双电层效应

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