线性微波源相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

线性微波源相关论文

微波化学气相沉积制备AlOx薄膜及钝化晶硅性能的研究

通过线性微波化学气相沉积（LMW-PECVD）技术在P型单晶样品上高生长速度下制备了高质量的AlOx薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭......

期刊

线性微波源氧化铝薄膜少子寿命 line microwave sources AlOx lifetime

工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响

AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统（LMW-......

期刊

线性微波源氧化铝薄膜工艺气体比例折射率沉积速度

看过本文同时还关注