纳米SiC薄膜相关论文
本实验采用射频磁控溅射方法,在高阻单晶Si(100)衬底上制备出了纳米SiC薄膜.采用高分辨原子力显微镜(AFM),观察到合适条件下沉积的......
利用磁控射频溅射法在石英衬底上制备了纳米SiC薄膜.研究了衬底温度对薄膜的结构,电学和光学性能的影响.X射线衍射(XRD)与原子力显......
本工作利用螺旋波等离子体化学气相沉积技术在高氢气条件下制备了具有紫外发光的六角晶型纳米碳化硅(nc-SiC),对这种材料进行了不......
本工作利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术(HWP-CVD),以CH4、SiH4和H2作为反应气体,在单晶Si和石英衬底上制备了纳米SiC薄膜......
本工作采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术,在单晶Si及石英衬底上制备了纳米SiC薄膜。通过原子力显微镜、X射线衍射谱、傅立......
为了最大限度地接受太阳光,充分发挥太阳能电板的光电转换性能,太阳能电板一般安装在室外房顶或空旷处,因此,其表面易附着大气中的......
