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纳米铜互连技术相关论文
直流和脉冲电镀铜互连线的性能比较
针对先进纳米铜互连技术的要求,比较了直流和脉冲两种电镀条件下铜互连线的性能,以及电阻率、织构系数、晶粒大小和表面粗糙度的变化......
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纳米铜互连技术
电沉积铜层
脉冲电镀
直流电镀
晶粒密度
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