以纳米尺度放电加工为对象,采用粒子模拟法和蒙特卡罗碰撞模型（PIC-MCC）,结合二次电子发射模型,对纳米级等离子体放电通道击穿过程的......

基于SPM（Scanning Probe Microscope，扫描探针显微镜）的纳米电刻蚀加工技术具有成本低，操作灵活，精度高，加工尺寸可控，加工去除能力与材料......

纳米放电加工作为微机械制造领域一个重要的研究方向,已受到国内外学者的广泛关注。放电加工基础理论研究是准确预测电极损耗、提......