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针对聚合物微器件的联接搭建了超声波精密联接系统。该系统选用工作频率为60kHz的超声换能器提供高频、低振幅超声波振动,以降低振......
聚合物材料以其种类繁多、价格低廉、易加工等优点,愈加广泛地应用于生化MEMS器件的制造,聚合物MEMS器件的封装成为生化MEMS制造中......
