等离子体增强气相沉积相关论文
随着科技、工业文明的不断进步,人类世界在获得到物质生活极大提高的同时,却不可避免地带来自然环境的持续恶化。化石原料的过度开......
本文利用中频磁控溅射和等离子体增强化学气相沉积技术在硅片和不同金属表面上制备了一系列的类金刚石薄膜。研究了工艺参数与薄膜......
