第二阳极作用相关论文
在90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加一30~60V的正偏压,可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用.在此情况下对磁过滤管道......
介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极......
利用一台磁过滤真空弧沉积装置,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响.实验证明,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大......
在90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加30~60V的正偏压可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用.在此情况下,就磁过滤管道磁......
在90°磁过滤管道和阴极之间加一30 ̄60V的正偏压可使磁过滤管道直屋阴极弧放电第二阳极的作用,在此情况下对了聚焦磁场对MEVVA源阳极-阴极以及......
建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30~ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 ......
研究了阴极弧等离子体沉积中第二阳极现象改善弧放电稳定性的作用.结果表明:由于弧放电规模增大,等离子体电阻降低,第二阳极现象的......