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竖直微孔相关论文
微/纳尺度竖直孔型结构中IPA的蒸发特性研究
在集成电路的生产制造过程中,晶圆的清洗和干燥工艺是使用最频繁、重复次数最多的工艺过程。清洗结束后,晶圆表面纳米尺度的孔型结......
学位
异丙醇
竖直微孔
蒸发速率
弯曲液面
扩散系数
分子动力学模拟
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