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在射频电感的设计中采用了微机电技术进行改造,得到了具有集成度高、功耗较低、体积小等优点的新型电感,在微波集成电路中出现这种......
基于微机电（MEMS）工艺技术的射频电感是一种体积小、功耗低和集成度高的新型电感,对于设计高品质因数的微波集成电路具有非常重要的......
本文基于MEMS工艺设计并流片一款小型化P波段LC滤波器,该滤波器基于硅通孔(TSV)技术,并采用双层硅片Au-Au键合工艺制作。LC谐振电......
