离焦信号相关论文
本文提出一种基于空间光学调制的离焦探测新方法,利用PZT驱动变形镜对会聚光束进行调制,再经相关检波获得离焦信息。该技术具有测......
要保证测量光聚焦在待测表面，自动聚焦控制是非常重要的。文中给出了基于离焦检测的自动聚焦控制原理和技术实现，其聚焦灵敏度达０．１μｍ，聚......
激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测系统为聚焦伺服系统提供聚焦误差信号,......
本论文研究了无掩膜光刻调焦系统的光学原理与设计,还研究了可变线宽的离焦光刻理论,此外也对无掩膜光刻系统的实现和应用进行了分......
