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电子束蒸镀过程射频自体辉光放电的等离子体诊断
为了克服电子束蒸镀技术存在的不足,提高蒸镀薄膜与基体的膜基结合力,从而扩大电子束蒸镀技术的应用范围。本文在实验室原有电子束......
学位
射频辉光放电
离子流探针
发射光谱
等离子体参数
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