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采用离子束溅射在不同的工艺参数下制备一系列单层Mo膜、Si膜及多层膜,并用原子力显微镜分析单层膜表面粗糙度及两种材料间的界面......
采用离子束溅射在不同的工艺参数下制备一系列单层Mo膜,Si膜及多层膜,并用原子力显微镜分析单层膜表面粗糙度及两种材料间的界面扩散......