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采用质量分析的低能离子束外延法生长了半导体性质的β-FeSi_2外延薄膜.就我们所知,在用同类方法的研究中,国际上尚属首次.AES测量......
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离子束外延法
FeSi2
半导体
薄膜
Epitaxial growth
Spectroscopic analysis
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