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离子束增强沉积技术
采用离子束增强沉积(IBED)铜过渡层和电子束蒸镀铜膜结合制备的单质膜结构,比采用电子束蒸镀钛-铜多层膜结构工艺简单,且不增加光刻腐蚀......
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