磷酸+电子级相关论文
为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜—液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级......
在电子级磷酸制备中,吸附与膜分离技术得到充分应用,不仅提高了磷酸的纯度,而且投资少,能耗较低,易于工业化。分别介绍了吸附与膜......