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单晶碳化硅超声-光电催化抛光仿真研究与实验设计
单晶Si C作为第三代半导体材料,具有很多优良的性能,比如高的饱和电子漂移、宽禁带以及导热性能优良等。但是单晶Si C极强的化学惰......
学位
碳化硅
流场仿真
磨粒冲击
试验机
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