磁悬浮定位平台相关论文
为了解决传统精密机械支承平台由于传动副的间隙、摩擦以及传动杆件弹性变形等引起的运动与定位误差问题,研制了具有“近零摩擦”运......
在一些高新技术领域,如集成电路制造、精密机械装配、细胞精细作业及超精密测量等,都需要一种大行程、高精度的定位平台。传统的定......
伴随着传统制造产业向纳米制造产业的发展,为了满足各种纳米制造的实验要求,同时适应微纳米器件的组装及测量、微纳米级机电系统的......
随着IC制造、高速高精密加工等领域的迅速发展,现代工业对定位系统的行程、速度、加速度、精度提出了越来越高的要求。传统的精密......