用对比方式对分割成二等分的同一Ｓｉ／Ｍｏ多层非晶薄膜样品分别作了ＲＡＳ－ＰＯＩＮＴ ＭＯＤＥ和ＰＯＩＮＴ ＭＯＤＥ的二次离子质谱深度剖面分析，前者是把ＲＡＳ ＭＯＤＥ（扫描法）与ＰＯＩＮＴ ＭＯＤＥ（定点法）有效结合......