硅微机械电容式麦克风相关论文
提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风.采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅......
给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构设计,并针对此结构对其进行了动态特性分析计算。硅微机械电容式麦克风的两个电极由......
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针对硅微机械电容式麦克风测试模块元器件的材料、结构、表面处理等方面进行了核辐照损伤分析，并对此探测模块在核辐照条件下做测试......
期刊
本文给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析。微机械麦克风的两个电极由一个三层复合敏感膜和一个金属铜底板......
为了设计和制造适合工业化生产的微机械麦克风，给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析．微机械电容式麦克风的两......
介绍了一种基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计方法。以复合敏感膜参数、底板参数以及敏感膜与底板间距为设计变量......
硅微机械电容式麦克风应用广泛,从普通的消费产品到专业的音频系统,它具有体积小、成本低、高精度、可靠性高和批量制造等优点。微......
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