硅外延装备相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅外延装备相关论文

硅外延装备中PLC驱动软件的设计与实现

外延工艺位于集成电路产业链的前端,为后续工艺提供完美单晶外延层衬底,是整个产业链的基础。进行硅片外延工艺的装备,即硅外延装......

期刊

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硅外延装备工艺控制软件设计与实现

作为集成电路生产线重要前端工艺装备之一，硅外延装备负责硅片的外延工艺处理，在给定的外延衬底上生成一层导电型、电阻率，厚度与晶格......

学位

集成电路硅外延装备需求模型软件架构设计模式

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