硅基二氧化硅光波导相关论文
从理论上分析了硅基二氧化硅光波导器件的芯区尺寸、相对折射率差、内应力和弯曲半径对器件偏振特性的影响 ,得出结论 :小折射率差......
硅基二氧化硅光波导是光通信中的关键器件．采用光刻胶以及金属作为掩膜进行了反应离子刻蚀二氧化硅光波导的工艺研究，获得了刻蚀速率......
